大理石平臺(tái)主要用于平面度檢測，大理石熱膨脹小，高精度的平臺(tái)往往用大理石的，比如三坐標(biāo)的導(dǎo)軌。高精度光刻，就用高精度000級(jí)大理石平臺(tái)，一些芯片設(shè)備，也是安裝在這類大理石平臺(tái)上的，產(chǎn)品的檢測，也在這種大理石平臺(tái)檢測，包括高級(jí)別的光學(xué)檢測。凡是與晶片有關(guān)的設(shè)備都是高的嚇人，一臺(tái)辦公桌大小的大理石平臺(tái)價(jià)格可以上億元，當(dāng)然精度也是高的嚇人了。

高精度000級(jí)大理石平臺(tái)是手磨的，人依然是gao精度，不是說人有多神奇，是人可以一點(diǎn)一點(diǎn)地研磨，邊研磨邊測量，而機(jī)器是沒有這種靈活性的，你到這種大平板廠子去看一下，終的精度是人工玩出來的，低精度是機(jī)器玩的。